發(fā)布時(shí)間: 2017-11-21 點(diǎn)擊次數(shù): 2132次
勻膠旋涂機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠旋涂機(jī)機(jī)身采用全工程塑料制作,您可以根據(jù)自身需求選擇通用的α相NPP-H材質(zhì)機(jī)型或高密度PTFE材質(zhì)機(jī)型。
勻膠旋涂機(jī)產(chǎn)品主要特點(diǎn):
1、開關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。
2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、勻膠旋涂機(jī)采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。
4、具有定時(shí)功能。
5、勻膠旋涂機(jī)測速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。
選購勻膠旋涂機(jī)需要注意的三個(gè)要素:
1、旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠旋涂機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档停瑫?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠旋涂機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題,這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。
3、材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國Laurell的WS-400B,500B,650等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯特氟隆, PTFE材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
勻膠旋涂機(jī)主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。勻膠旋涂機(jī)可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。適用于清洗、甩干、涂膠、顯影和刻蝕等多種工藝。