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選購勻膠旋涂機需要注意的細節(jié)

發(fā)布時間: 2017-09-19  點擊次數(shù): 2411次
   勻膠旋涂機工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠旋涂機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。可以設定多達20個程序段來存儲不同材料的制備過程,每個程序段都能設定51步速度改變,當前參數(shù)具斷電保護功能。
  從勻膠旋涂機原理來說,我們可以看出選購勻膠旋涂機需要注意的幾個細節(jié):
  1、 旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠旋涂機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。進口的勻膠旋涂機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有標準認定。建議購買轉速控制方面有認定標準的,比如:美國NIST標準等。
  2、 真空吸附系統(tǒng)的構造
  真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠旋涂機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠旋涂機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
  3、 材質的選擇
  對于半導體化工行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠旋涂機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
  勻膠旋涂機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。勻膠旋涂機具有穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是勻膠旋涂機的特點。
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