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簡(jiǎn)要描述:NSC-3500(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng):立式自動(dòng)系統(tǒng),帶有水冷或者加熱(Z高可加熱到700度)功能,Z大到6“旋轉(zhuǎn)平臺(tái),Z大可支持到4個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
產(chǎn)品型號(hào):
所屬分類(lèi):Sputter磁控濺射系統(tǒng)
更新時(shí)間:2017-03-03
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
磁控濺射技術(shù)
NSC-3500(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能,zui大到6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái),zui大可支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3500(A)帶有14"立方形不銹鋼腔體,3個(gè)2"的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3500(A)全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):
選配項(xiàng):
應(yīng)用: