NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)

簡要描述：NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)：ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響，所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統(tǒng)計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性，可以提供的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現(xiàn)到大基片上。

產品型號：

所屬分類：ALD原子層沉積系統(tǒng)

更新時間：2024-06-17

廠商性質：生產廠家

留言詢價聯(lián)系我們

詳情介紹

　　原子層沉積技術

　　NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)概述：原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術，具有廣泛的應用。ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響，所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統(tǒng)計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性，可以提供的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現(xiàn)到大基片上。

　　NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)特點：NLD-3000是一款獨立的PC計算機控制的ALD原子層沉積系統(tǒng)，帶Labview軟件，具備四級密碼控制的用戶授權保護功能。系統(tǒng)為全自動的安全互鎖設計，并提供了強大的靈活性，可以用于沉積多種薄膜(如：AL2O3, AlN, TiN, ZrO2, LaO2, HfO2,等等)。應用領域包含半導體、光伏、MEMS等。NLD-3000系統(tǒng)提供12"的鋁質反應腔體，帶有加熱腔壁和氣動升降頂蓋，非常方便腔體的訪問和清潔。該系統(tǒng)擁有一個載氣艙包含多達7個50ml的加熱汽缸，用于前驅體以及反應物，同時帶有N2或者Ar作為運載氣體的快脈沖加熱傳輸閥。

　　選配：NLD-3000系統(tǒng)的選配項包含自動L/UL上下載(用于6"基片)，ICP離子源(用于等離子增強的PEALD)，臭氧發(fā)生器，等等。

　　應用：

　　Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3，etc

　　Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

　　Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應用.

　　Nano laminates納米復合材料

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

国产一区欧美精品日韩一区,国产精品 欧美 日本,艳MU1一6全集在线播放极速,无人区码一码二码三码区

NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

国产一区欧美精品日韩一区,国产精品欧美日本,艳MU1一6全集在线播放极速,无人区码一码二码三码区